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洁净厂房的地板系统除了需要给在这个区域工作的人们提供稳定的立足点外，还要提供更多东西，例如把洁净的空气送入房间，支撑加工艺设备，为必要的设备维修提供方便的通道，并且还要具备坚固的表面保证设备可以在上面进行改造。
净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。
根据我国的《洁净室施工验收规范》和国际标准 ISO 14644-4 《洁净 室的设计与施工》中的有关要求，洁净室工程援工验收的检测内容如下。静压差测试；风速或风量测试、通风机风量、转数；高效过滤器的世漏检测：温度、相对湿度、气流流型、自净时间；照度测定、防静电性能测定、噪声测定、微振测定。
恒温恒湿系统指对环境的温度、湿度、洁净度进行控制的系统。主要由空调系统、通风系统、电气及自控系统组成。恒温是指通过自动温控设备，使温度保持不变得状态,温度值不受时间的影响。
